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浅谈真空泵的分类

点击次数:   更新时间:2022-04-10 13:02     来源:http://www.zkbcj.net/ 【关闭分    享:
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  根据性能特点和用途进行分类。
  (1)低真空泵
  真空泵的极限压力高于102Pa,属于低真空泵。常见的低真空泵包括往复真空泵、旋转真空泵、液环真空泵、喷射真空泵和吸附真空泵。
  (2)中真空泵。
  102~-10-1Pa真空泵为中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射真空泵、多级旋转机械真空泵、高速旋转机械真空泵等。
  (3)高真空泵。
  10-1~10-5Pa真空泵为高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵和分子泵。
  (4)超高真空泵。
  极限压力小于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要包括各种离子泵、低温泵等。
  02
  根据工作原理和结构特点进行分类。
  (1)机械容积真空泵。
  核体积真空泵通过机械运动改变泵腔的工作体积周期,达到抽气效果。往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。除机械增压泵外,这种泵一般可单独使用。
  (2)射流真空泵。
  没有机械运动部件,射流真空泵主要通过喷嘴的高速射流抽真空。有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵和各种扩散泵。这种泵结构简单,工作可靠,使用寿命长,维护方便,应用广泛。
真空泵


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